羅茨真空泵簡(jiǎn)稱羅茨泵，是一種無(wú)內(nèi)壓縮的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菔秸婵毡?，它是?a href="http://www.zhtdkj.cn" target="_blank" title="羅茨鼓風(fēng)機(jī)" style="color: rgb(255, 0, 0); text-decoration: underline;">羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來(lái)的。工業(yè)中常用的中羅茨真空泵有羅茨泵和油增壓真空泵。羅茨真空泵具有高效節(jié)能、低噪音、無(wú)泄漏、運(yùn)行平穩(wěn)等特點(diǎn)。

羅茨真空泵的分類如下：

　　1.羅茨泵(又稱真空泵)

羅茨泵由于工作壓力范圍不同，可分為直排大氣的干式真宅泵和濕式羅茨泵，還有真空羅茨泵(機(jī)械增壓泵)和高真空多級(jí)羅茨泵等。近年來(lái)，羅茨泵應(yīng)用非常廣泛。

羅茨泵是一種雙轉(zhuǎn)子的容積式真空泵，在泵腔內(nèi)有兩個(gè)形狀對(duì)稱的轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)做同步相對(duì)旋轉(zhuǎn)，形成泵腔內(nèi)容積的周期重復(fù)變化以達(dá)到吸氣和排氣的目的。轉(zhuǎn)子形狀有兩葉、三葉和四葉的。兩個(gè)轉(zhuǎn)子彼此朝相反方向旋轉(zhuǎn)，由軸端齒輪驅(qū)動(dòng)同步轉(zhuǎn)動(dòng)。轉(zhuǎn)子之間彼此無(wú)接觸，轉(zhuǎn)子與泵腔壁之問(wèn)也無(wú)接觸，其問(wèn)通常有0．15～1．0mm的間隙，泵腔靠間隙來(lái)密封。由于羅茨泵泵腔內(nèi)無(wú)摩擦，轉(zhuǎn)子町高速運(yùn)轉(zhuǎn)，一般為1500～3000r/min，無(wú)需用潤(rùn)滑油，可實(shí)現(xiàn)較清潔的抽氣過(guò)程。泵的潤(rùn)滑部位僅限于軸承和齒輪，以及動(dòng)密封處。

圖1 羅茨真空泵

　　羅茨泵有重量輕、體積小、低噪音、效率高、運(yùn)行快，可抽除含有一定量的灰塵或冷凝物的氣體等優(yōu)點(diǎn)，廣泛用于冶金、石油、化工、電子、紡織等工業(yè)中。羅茨泵在100～1Pa真空下有較大抽速，彌補(bǔ)了機(jī)械泵和蒸氣流泵在該壓力范圍內(nèi)抽速小的特點(diǎn)，所以又稱為機(jī)械增壓泵。羅茨泵在真空工程領(lǐng)域中應(yīng)用時(shí)，一般與前級(jí)泵串聯(lián)構(gòu)成機(jī)組，在中真空范圍，作為機(jī)械增壓泵來(lái)應(yīng)用；雙級(jí)或多級(jí)羅茨泵機(jī)組可獲得高真空；對(duì)于干式清潔無(wú)油的抽氣系統(tǒng)多用氣冷式羅茨泵機(jī)組；對(duì)于含水蒸氣的被抽系統(tǒng)，多用濕式羅茨泵。

　　2.油增壓真空泵

工作壓力范圍在10～10-2Pa壓力區(qū)間內(nèi)，油擴(kuò)散噴射泵有較大的抽速和較高的最大出口壓力，其抽氣量是擴(kuò)散泵的4～20倍，加熱功率是擴(kuò)散泵的2～5倍。油擴(kuò)散噴射泵在1～0．1Pa下有較大的抽速，由于油擴(kuò)散噴射泵的工作壓力范圍正處于油擴(kuò)散泵和油封機(jī)械泵抽氣能力下降區(qū)域，可彌補(bǔ)真空泵和高真空泵在該壓力范圍抽速較小的缺點(diǎn)，因此，該泵除可以做主泵外，還常常用于大型油擴(kuò)散泵和前級(jí)機(jī)械泵之間，保證真空系統(tǒng)的有效工作。

油擴(kuò)散噴射泵對(duì)惰性氣體與其他氣體有相同的抽速，并有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、無(wú)機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)部分，便于操作、維護(hù)，壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。油擴(kuò)散噴射泵廣泛應(yīng)用于真空感應(yīng)熔煉、真空電弧熔煉、真空十燥、真空壓力浸漬、真空蒸餾等設(shè)備上。